碳化硅桨叶又称碳化硅桨叶、碳化硅悬臂梁,是经1850℃高温烧结而成的碳化硅陶瓷制品。在1350℃以下使用。碳化硅桨叶、碳化硅桨叶、碳化硅悬臂梁强度仍可达到380MPa;其硬度仅次于金刚石,长期不磨损。
碳化硅桨和碳化硅滚筒是半导体和太阳能硅片生产合成中不可缺少的载体。用于多晶硅片或单晶硅片在扩散炉内的(扩散)镀膜工艺,用于在高温环境(1000---1300℃)下承载和运输硅片。它是半导体晶圆装载系统的关键部件。
1、公司目前碳化硅桨的产品类型分为左右桨、单层桨、双层桨等,常规尺寸有2378mm、2550mm、2660mm、2045mm、2270mm、2378mm、2394mm、2450mm、2550mm 、2640毫米、3748毫米、3600毫米、3700毫米、3900毫米。
2、还可根据客户要求开发制造其他尺寸的高纯碳化硅桨。