空气负载移动系统质量非常好

空气轴承 无磨损，几乎不会产生空气中的颗粒物。这使得它们非常适合光学检查、晶圆检查和平板显示器检查等洁净室应用。

空气轴承 刚性强，能够提供高精度的旋转运动。

空气轴承动子 包含便携式空气控制台、空气管、空气模块、安全气囊、四个或六个空气模块。

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