对多晶硅和第12288类材料的要求
用途:适用于太阳能级单晶硅和65293微米以下的材料;
和12288;
内在/原始多晶硅的要求
清洗粒度化学性质
(12288);(12288);
α12288;α12288;PbC总金属含量
ppppaPPBA PPMA-PPBA
腌制0~20和8804;10%和65307;20~100和8805;90%和8804;0.3和8804;0.06和8804;0.17和8804;0.17。
硅纯度:99.9999%
I.单晶硅锭顶和尾部的要求
源CZ过程
料锭顶部和尾部的类型
大小Na Na
未治未治的治疗
电阻率>0.5欧姆。cm×12288;>0.5欧姆。厘米
[OI] 8U00 B5S和α12288;>8U00 B5S和γ12288;
电导率和α12288;p型和α12288;n型
掺杂材料和α12288;α12288;硼和磷;磷;
II.单晶硅锭顶和尾部的要求
源CZ过程
材料类型
大小Na Na
未治未治的治疗
电阻率>0.5欧姆。cm×12288;>0.5欧姆。cm×12288;
[OI] 8U00 B5S和α12288;>8U00 B5S和γ12288;
电导率和α12288;p型和α12288;n型
掺杂材料和α12288;硼和12288;磷
石英含量方向公差10和956;S最小长度和8807;100mm
和65288;OI&Y 65289;和8806;1×1018原子/CM3表面弧度和γ8806;0.2mm;
α65288;Cs和γ65289;α8806;5×1016原子/CM3 Nd位错和8806;3000 /CM2
端并行性